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落地节奏快于市场预期!帮玻璃基板“打通神经”,TGV和RDL是CoPoS工艺关键

热点 · 2026-05-07 08:59:29

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帝尔激光 沃格光电

【本文来自持牌证券机构,不代表平台观点,请独立判断和决策】

华泰证券指出,CoPoS与玻璃基板将成为下一代先进封装方案,近期苹果、台积电等科技巨头都有相关进展。CoPoS需要全新设备、新型物料处理方式与全新良率积累过程。TGV(玻璃通孔)和重布线RDL是CoPoS工艺关键,帮玻璃基板“打通神经”。关注沃格光电彩虹股份帝尔激光大族激光汇成股份等产业链公司。

1)台积电26年6月将有望建成CoPoS中试线,大规模量产或将到2028年之后

突破尺寸极限,CoPoS是继CoWoS后的下一代先进封装。

CoPoS相较于CoWoS主要区别即在于中介层,CoWoS采用纯硅或LSI局部硅+RDL有机中介层,并在硅材料上通过TSV通孔实现互联,CoPoS即将中介层替换为玻璃材料,并通过TGV通孔实现互联,而中介层外的μBump以及IC载板无变化,通过中介层材料的替换来延展中介层面积,并提高互联密度。

落地节奏上,台积电将CoWoS中介层上限由9.5x提升至14xreticlesize之后,CoWoS的性能提升空间进一步拓宽,CoPoS替代的必要性或将推迟,据trendforce,台积电26年6月将有望建成CoPoS中试线,而大规模量产或将到2028年之后。

CoPoS的玻璃中介层优势在于1)面积尺寸更大;2)信号传输损耗低;3)CTE系数与硅匹配且可灵活调整;4)TGV通孔密度更高,互联性能空间更大。

CoPoS所用的玻璃基板具备应用延展性,主因其尺寸与TGV密度带来的性能优势与低信号损耗优势使得玻璃基板在中介层替代、IC载板替代、射频FOPLP与CPO上具备落地空间。

市场认为玻璃基板伴随CoPoS的量产要在2028年以后,但在IC载板替代和CPO载板等新兴应用上的进展或将加速玻璃基板应用落地快于市场预期。

基于目前技术工程与经济性问题,玻璃基板率先落地场景预计为射频领域的FOPLP封装与玻璃载板,Intel已于2026年初推出玻璃载板的EMIB封装样品,采用了800μm的玻璃基板以及2颗EMIBbridge。

2)TGV以及RDL是CoPoS工艺核心环节

CoPoS需要全新设备、新型物料处理方式与全新良率积累过程。CoPoS工艺本质上是CoWoS技术的"面板化"延伸演进,TGV(玻璃通孔)通过改性、刻蚀、清洗、双面电镀、退火、CMP、PVD镀膜、光刻、重布线RDL检量测等工艺实现在玻璃基板上制作垂直导电通孔,从而实现不同层面间的电气相连。

此外重布线层(RDL)从单层进化到多层,金属层数翻倍,铜凸点间距缩小至5μm,拉动直写光刻、刻蚀、薄膜、电镀等设备用量,同时工艺流程增加对AOI检测等测试设备需求增加。

CoPoS技术可能重塑价值链分布,传统OSAT厂商需要向上游材料领域延伸,而面板制造商则可能向下游封装业务拓展。CoPoS工艺从底层材料(玻璃基替代硅中阶层)到加工设备(超快激光打孔、电镀、检量测等)实现对TSV技术的全面替代,带来相关材料及相关设备的增量需求。

产业链相关公司包括:1)玻璃基板与上游材料:沃格光电彩虹股份美迪凯戈碧迦凯盛科技;2)设备:帝尔激光大族激光芯碁微装华海清科、ASMPT等;3)封装测试:汇成股份颀中科技晶方科技

研报来源:华泰证券,郭龙飞,S0570525080001,化圆为方—CoPoS突破先进封装横向发展极限。2026年5月7日

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