热点 · 2026-07-22 08:37:39
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六氟化钨(WF₆)是半导体CVD制程中沉积钨膜唯一商用前驱体气体。
国金证券指出,中国钨出口管制叠加日系6N六氟化钨产能刚性退出,国产厂商迎全球份额与单位盈利双升窗口期。日本两大供应商7月1日起对台积电、三星、SK海力士断供,全球6N级供给缺口达2000-2200吨。
中国六氟化钨出口均价5月同比涨幅达312%,2-5年认证壁垒和ppb级纯度要求锁住缺口,已认证国产企业将系统性承接日企全球份额,而非仅受益于短期涨价。中船特气、昊华科技、中巨芯是最直接受益企业。
中国钨资源占全球供给80%以上,2025年2月纳入两用物项出口管制后,2026年2-4月中国对日钨粉出口量归零。日本关东电化和中央硝子专注于6N及以上等级六氟化钨生产,合计产量约2000-2200吨,但钨原料库存仅能维持至5-6月。两家日本企业已正式通知台积电、三星和SK海力士,六氟化钨供应将于2026年7月1日结束。
价格端已确认这一供应链重构:2026年1-5月中国六氟化钨出口单价从69美元/kg升至211美元/kg,5月同比涨幅达312%。国内现货市场5N级产品6月报价1670-1810元/公斤,同比上涨232.7%;6N级产品报价220-300万元/吨,较4月初涨幅超190%。
全球六氟化钨消费量由2020年4620吨增至2025年8901吨,复合增速14%,预计2030年需求量达15050吨,年复合增速11%。
需求增长由AI算力驱动的全球存储晶圆扩产和3DNAND工艺迭代共同推动,3DNAND从128层向232层、300层以上迭代,钨沉积工序不断增加,单片晶圆耗材提升幅度显著。
海外三大存储原厂大规模扩产中:美光93亿美元扩建日本广岛HBM产线,SK海力士514亿美元新建清州NAND工厂。国内长江存储武汉三期预计2026年投产,长鑫科技募资295亿元扩建DRAM与HBM产线,为六氟化钨需求提供确定性增量。
电子特气头部晶圆厂供应商导入周期长达2-5年,全新厂商需要同样时长的认证周期。六氟化钨上游钨粉加氟气成本占比达60%-70%,ppb级杂质控制要求构成显著工艺壁垒,短期替代极为困难。
国产企业中,中船特气、昊华科技、中巨芯产能分别为2000吨、600吨、600吨,合计3200吨,凭借既有认证优势成为日系退出后唯一具备填补缺口条件的合格产能。
中船特气:六氟化钨产能2000吨/年,全球最大,产品纯度为6N级,2027年将扩至3000吨。产品覆盖台积电、美光、海力士、英飞凌、铠侠等海外大厂及国内主流晶圆厂。2025年营收22.60亿元,电子特气营收占比86.57%。调价机制正从年度向季度、月度演进,海外客户以长协锁定订单。
昊华科技:六氟化钨产能600吨,可稳定量产5N、6N级高纯产品,已通过国内多家主流半导体厂商验证并批量供货。2025年营收166.89亿元,归母净利润14.44亿元,同比增37.07%,高端氟材料营收99.39亿元,依托集团氟资源一体化优势布局半导体含氟特气。
中巨芯:六氟化钨产能600吨,5N5纯度已在中芯国际、华虹集团等国内主流客户通过认证并批量供货,同时量产6N高纯氯气、6N高纯氯化氢等多品种。2025年营收12.12亿元,归母净利润-1659.62万元由盈转亏,电子湿化学品营收8.79亿元占比超72%,电子特气及前驱体营收2.89亿元,深度绑定本土核心晶圆厂。
研报来源:国金证券,姚遥,S1130512080001,六氟化钨行业深度:供需矛盾持续演绎,看好国产企业份额、盈利提升。2026年07月21日